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Acceleration sensor fabricated by the LIGA-process

Mohr, J.; Strohrmann, M.; Keller, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230033640
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Poster-Ausstellung, Micro Machine Centre, Tokyo, J, 20.-27.April 1993
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