Acceleration sensor fabricated by the LIGA-process

Mohr, J.; Strohrmann, M.; Keller, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230033640
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Poster-Ausstellung, Micro Machine Centre, Tokyo, J, 20.-27.April 1993