LIGA microstructures from a NiFe-alloy: preparation by electroforming and their magnetic properties

Thommes, A.; Stark, W.; Leyendecker, K.; Bacher, W.; Liebscher, H.; Jakob, C.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230033768
HGF-Programm	41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Meeting of the Electrochemical Society, New Orleans, La., October 10-15, 1993