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Plastic molding and electroforming of LIGA-microstructures onto microelectronic circuits

Ruprecht, R.; Both, A.; Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230033849
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe, Neuchatel, CH, September 7-8, 1993
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