Plastic molding and electroforming of LIGA-microstructures onto microelectronic circuits

Ruprecht, R.; Both, A.; Bacher, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230033849
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micromechanics Europe, Neuchatel, CH, September 7-8, 1993