Piozoelektrische duenne Schichten fuer die Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033999 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Hauptversammlung der Deutschen Gesellschaft fuer Materialkunde, Friedrichshafen, 1.-4.Juni 1993 Kurzfassungen |