Untersuchungen zur Metallabscheidung in Mikrostrukturen

Leyendecker, K.; Stark, W.; Thommes, A.; Bacher, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230034016
HGF-Programm	41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Jahrestagung der Gesellschaft Deutscher Chemiker, Fachgruppe Angewandte Elektrochemie, Berlin, 7.-10.September 1993