| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034180 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.in Asia of the Internat.Union of Materials Research Societies, On Boat MS Xieng, Tj, September 6-10, 1993 |