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Einsatz der FTIR-Spektroskopie im Rahmen der Silizium-Aetztechnik

Guber, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230034199
HGF-Programm 41.01.07 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk BRUKER-FTIR-Benutzertreffen, Karlsruhe, 4.-5.November 1993
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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