Einsatz der FTIR-Spektroskopie im Rahmen der Silizium-Aetztechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034199 |
| HGF-Programm | 41.01.07 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | BRUKER-FTIR-Benutzertreffen, Karlsruhe, 4.-5.November 1993 |