Erzeugung duenner Schichten durch Abscheidung von Clusterstrahlen. Ein Beispiel der Anwendung von Aehnlichkeitsgesetzen fuer die Kondensation in Ueberschallstrahlen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034232 |
| HGF-Programm | 41.01.08 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Universitaet Jena, 2.Dezember 1993 |