The role of information processing for LIGA-based microsystems technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034566 |
| HGF-Programm | 41.05.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Mass., October 19, 1993 |