Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren

Wallrabe, U.; Bley, P.; Menz, W.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230034609
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 (Poster)