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Open system architecture for modelling of the LIGA-process

Huber, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230034761
HGF-Programm 52.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe, Neuchatel, CH, September 7-8, 1993
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