The latest achievements in LIGA process. KfK and microparts status of technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034819 |
| HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Advanced Machining Technology and Development Association, Tokyo, J, 12.Oktober 1993 4th Internat.Symp.on Micro Machine and Human Science, Nagoya, J, October 12-16, 1993 |