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The latest achievements in LIGA process. KfK and microparts status of technology

Klose, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Projekt Mikrosystemtechnik (PMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230034819
HGF-Programm 41 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Advanced Machining Technology and Development Association, Tokyo, J, 12.Oktober 1993 4th Internat.Symp.on Micro Machine and Human Science, Nagoya, J, October 12-16, 1993
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