KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

The LIGA-process - a fabrication technology to produce high aspect ratio microstructures and microsystems

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230034943
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk IARP Workshop on Micromachine Technologies and Systems, Tokyo, J, October 26-28, 1993
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page