The LIGA-process - a fabrication technology to produce high aspect ratio microstructures and microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034943 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | IARP Workshop on Micromachine Technologies and Systems, Tokyo, J, October 26-28, 1993 |