Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230034943 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | IARP Workshop on Micromachine Technologies and Systems, Tokyo, J, October 26-28, 1993 |