Herstellung von Mikroaktoren und Mikrosystemen mit dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034946 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Productronica, Muenchen, 10.November 1993 |