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Herstellung von Mikroaktoren und Mikrosystemen mit dem LIGA-Verfahren

Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230034946
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Productronica, Muenchen, 10.November 1993
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