Die LIGA-Technik und ihr Potential fuer Sensoren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230034947 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 1. Dresdner Sensor-Symposium, Dresden, 14.-16.Dezember 1993 Vortrags-Kurzfassungen, Vortr.39 |