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Die LIGA-Technik und ihr Potential fuer Sensoren

Menz, W.; Bacher, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230034947
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1. Dresdner Sensor-Symposium, Dresden, 14.-16.Dezember 1993 Vortrags-Kurzfassungen, Vortr.39
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