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LIGA-fabricated microtesting system for measurement of Young's modulus of unilaterally clamped microbeams

Ruther, P.; Weindel, K.; Feit, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035120
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Microsystem Technologies 94, 4. Internat.Kongress und Fachmesse für Mikrosystemtechnik, Berlin, 19.-21.Oktober 1994
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