Pollutant reduction during gas-phase cleaning of plasma CVD systems

Guber, A.; Köhler, U.; Bier, W.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230035128
HGF-Programm	41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	SEMICON-Europa 94, Geneve, CH, April 12-14, 1994

Seitenaufrufe: 77
seit 06.08.2018