Pollutant reduction during gas-phase cleaning of plasma CVD systems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035128 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | SEMICON-Europa 94, Geneve, CH, April 12-14, 1994 |