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Electroforming of microstructures in metals and alloys - an important tool for the LIGA-process

Bacher, W.; Bade, K.; Leyendecker, W.; Thommes, A.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230035351
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 45th Annual Meeting of the Internat.Society of Electrochemistry, Porto, P, August 28 - September 2, 1994
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