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Quasimonolithische Integration von LIGA-Mikrostrukturen und Mikroelektronischen Schaltkreisen

Both, A.; Bacher, W.; Ruprecht, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230035353
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Achema, Frankfurt, 5.-11.Juni 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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