Quasimonolithische Integration von LIGA-Mikrostrukturen und Mikroelektronischen Schaltkreisen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035353 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Achema, Frankfurt, 5.-11.Juni 1994 |