Abgasuntersuchungen plasmaunterstützter Abscheide- und Ätzprozesse in der Siliziumtechnik mit FTIR-Spektroskopie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035354 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Analytica-Conf., München, 19.-22.April 1994 |