KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Abgasuntersuchungen plasmaunterstützter Abscheide- und Ätzprozesse in der Siliziumtechnik mit FTIR-Spektroskopie

Guber, A.; Bier, W.; Köhler, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230035354
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Analytica-Conf., München, 19.-22.April 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page