Leistungsvermögen eines nach dem LIGA-Verfahren hergestellten Mikrospektrometers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035360 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Opto '94, Leipzig, 17.-19.Mai 1994 |