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Leistungsvermögen eines nach dem LIGA-Verfahren hergestellten Mikrospektrometers

Müller, C.; Mohr, J.; Reichert, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230035360
HGF-Programm 41.06.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Opto '94, Leipzig, 17.-19.Mai 1994
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