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Realisierung eines hybrid aufgebauten, optischen Duplexers mit dem LIGA-Verfahren

Müller, A.; Hehmann, J.; Rogner, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230035379
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erscheinungsvermerk 2.Statusseminar des BMFT-Projektes AVT-KEO, Berlin, 26.Januar 1994
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