Fabrication of plastic microstructures

Bacher, W.; Both, A.; Dinglreiter, H.; Kalb, H.; Ruprecht, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230035523
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro System Technologies, Tokyo, J, May 11-13, 1994