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Fabrication of metal microstructures

Bacher, W.; Ruprecht, R.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230035524
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micro System Technologies, Tokyo, J, May 11-13, 1994
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