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Fabrication of metal microstructures

Bacher, W.; Ruprecht, R.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035524
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Micro System Technologies, Tokyo, J, May 11-13, 1994
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