Fabrication of ceramic microstructures
Günther, E.; Knitter, R.
; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Zimmermann-Chopin, R.; Bacher, W.; Bier, W.; Ruprecht, R.
; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Zimmermann-Chopin, R.; Bacher, W.; Bier, W.; Ruprecht, R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035525 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro System Technologies, Tokyo, J, May 11-13, 1994 |