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Fabrication of ceramic microstructures

Günther, E.; Knitter, R.; Ritzhaupt-Kleissl, H.J.; Zimmermann-Chopin, R.; Bacher, W.; Bier, W.; Ruprecht, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035525
HGF-Programm 41.02.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Micro System Technologies, Tokyo, J, May 11-13, 1994
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