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LIGA made micromotors and other actuators

Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035526
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, CH, 11.April 1994
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