Anwendungen des LIGA-Verfahrens auf dem Gebiet der Mikrooptik und der integrierten Optik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035701 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Fa.ASCOM TeCH AG, Bern, CH, 20.Juli 1994 |