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Electroforming of μm- and nm features by LIGA: electrochemical principles

Bacher, W.; Bade, K.; Leyendecker, K.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035702
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 6th Fischer Symp.on Nanotechniques in Electrochemistry, Karlsruhe, June 13-16, 1994
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