Electroforming of μm- and nm features by LIGA: electrochemical principles
Bacher, W.; Bade, K.
; Leyendecker, K.; Stark, W.
; Leyendecker, K.; Stark, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035702 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 6th Fischer Symp.on Nanotechniques in Electrochemistry, Karlsruhe, June 13-16, 1994 |