Conical micro structures fabricated in deep X-ray lithography by using fluorescence radiation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035706 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.on Micro- and Nanoengineering '94, Davos, CH, September 26-29, 1994 |