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Conical micro structures fabricated in deep X-ray lithography by using fluorescence radiation

Pantenburg, F.J.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035706
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Micro- and Nanoengineering '94, Davos, CH, September 26-29, 1994
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