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Conical micro structures fabricated in deep X-ray lithography by using fluorescence radiation

Pantenburg, F.J.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230035706
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Micro- and Nanoengineering '94, Davos, CH, September 26-29, 1994
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