ASIDOD - apparatus for simultaneous double-side deposition
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035708 |
| HGF-Programm | 34.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 8.CIMTEC, Firenze, I, June 29 - July 4, 1994 |