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ASIDOD - apparatus for simultaneous double-side deposition

Ratzel, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230035708
HGF-Programm 34.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 8.CIMTEC, Firenze, I, June 29 - July 4, 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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