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Fertigungsmethoden der Mikrosystemtechnik jenseits der Siliziumtechnologie

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230035727
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Dortmund, 6.Mai 1994
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