Fertigungsmethoden der Mikrosystemtechnik jenseits der Siliziumtechnologie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035727 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Universität Dortmund, 6.Mai 1994 |