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Cluster beam deposition: optimization of a silver cluster beam source

Gatz, P.; Hagena, O.F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035732
HGF-Programm 52.01.12; LK 01
Erscheinungsvermerk 19th Internat.Symp.on Rarefied Gas Dynamics, Oxford, GB, July 25-27, 1994
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