Cluster beam deposition: optimization of a silver cluster beam source
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035732 |
| HGF-Programm | 52.01.12 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 19th Internat.Symp.on Rarefied Gas Dynamics, Oxford, GB, July 25-27, 1994 |