KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Anwendung des LIGA-Verfahrens in der Mikrooptik und der Integrierten Optik

Göttert, J.; Mohr, J.; Müller, A.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230035733
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Jena, 5.Juli 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page