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Anwendung des LIGA-Verfahrens in der Mikrooptik und der Integrierten Optik

Göttert, J.; Mohr, J.; Müller, A.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230035733
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Jena, 5.Juli 1994
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