The LIGA-process - a powerful tool in microsystem technology

Pantenburg, F. J.; Both, A.; El-Kholi, A.; Mohr, J.; Müller, C.; Strohrmann, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230035735
HGF-Programm	41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	National Synchrotron Radiation Conf., Novosibirsk, GUS, July 11-15, 1994