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The LIGA-process - a powerful tool in microsystem technology

Pantenburg, F.J.; Both, A.; El-Kholi, A.; Mohr, J.; Müller, C.; Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230035735
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk National Synchrotron Radiation Conf., Novosibirsk, GUS, July 11-15, 1994
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