KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

The LIGA-process - a powerful tool in microsystem technology

Pantenburg, F.J.; Both, A.; El-Kholi, A.; Mohr, J.; Müller, C.; Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035735
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk National Synchrotron Radiation Conf., Novosibirsk, GUS, July 11-15, 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page