New results on microsystem technology at the nuclear research center in Karlsruhe (KfK) / Germany
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230035801 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 5th Internat.Symp.on Micro Machine and Human Science, Nagoya, J, October 2-4, 1994 |