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New results on microsystem technology at the nuclear research center in Karlsruhe (KfK) / Germany

Menz, W.; Bacher, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230035801
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 5th Internat.Symp.on Micro Machine and Human Science, Nagoya, J, October 2-4, 1994
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