Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230035801 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 5th Internat.Symp.on Micro Machine and Human Science, Nagoya, J, October 2-4, 1994 |