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Components and applications of the LIGA process in microoptics

Mohr, J.; Menz, W.; Göttert, J.; Müller, A.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230035810
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 1st Binational German-Israel Symp.on Optical Signal and Image Processing, Jerusalem, IL, June 21-22, 1994
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