Components and applications of the LIGA process in microoptics

Mohr, J.; Menz, W.; Göttert, J.; Müller, A.; Müller, C.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230035810
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	1st Binational German-Israel Symp.on Optical Signal and Image Processing, Jerusalem, IL, June 21-22, 1994