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Der elektrostatische Antrieb in der Mikrosystemtechnik

Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230035839
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Karlsruhe 1994
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