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Der elektrostatische Antrieb in der Mikrosystemtechnik

Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230035839
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Karlsruhe 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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