Charakterisierung von Gassensorelementen aus SiO₂/SnO₂-Doppelschichten mit XPS, SNMS und SIMS

Althainz, P.; Dahlke, A.; Ehrmann, S.; Goschnick, J.; Ache, H. J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Radiochemie (IRCH)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230036044
HGF-Programm	41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	8. Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA8), Kaiserslautern, 5.-8.September 1994