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LIGA-Microsystems for automotive applications

Strohrmann, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230036141
HGF-Programm 41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Microsensors and Microsystems for Automotive Applications, Frankfurt, 15.September 1994 (Poster)
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