Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230036142 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Microsystem Technologies 94, 4. Internat.Kongress und Fachmesse für Mikrosystemtechnik, Berlin, 19.-21.Oktober 1994 |