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Aktives Mikroventilsystem zum Schalten von Flüssigkeiten und Gasen

Fahrenberg, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230036142
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Microsystem Technologies 94, 4. Internat.Kongress und Fachmesse für Mikrosystemtechnik, Berlin, 19.-21.Oktober 1994
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