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Mikrostrukturierung mit Röntgentiefenlithographie zur Herstellung von mikrooptischen Komponenten

Göttert, J.; Menz, W.; Mohr, J.; Müller, A.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230036148
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 4.Berliner Optiktage, 20.-21.September 1994
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