Mikrostrukturierung mit Röntgentiefenlithographie zur Herstellung von mikrooptischen Komponenten

Göttert, J.; Menz, W.; Mohr, J.; Müller, A.; Müller, C.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230036148
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	4.Berliner Optiktage, 20.-21.September 1994