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Microactuators for microsystems

Bacher, W.; Kohl, M.; Schomburg, W.K.; Allen, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230036149
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Fall Meeting of the Photo Chemical Maching Institute, Limerick, IRL, September 18-21, 1994
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