Microactuators for microsystems

Bacher, W.; Kohl, M.; Schomburg, W. K.; Allen, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230036149
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Fall Meeting of the Photo Chemical Maching Institute, Limerick, IRL, September 18-21, 1994