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Die LIGA-Technologie

Börner, M.W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230036154
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Kurs 'Qualität und Zuverlässigkeit in Mikroelektronik und Mikroverbindungstechnik', Zürich, CH, 18.-19.Oktober 1994
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