Berührungsloses Messen mit Mikromembranen

Zur Horst-Meyer, S.; Münch, H. J.; Börner, M. W.; Schomburg, W. K.; Vitt, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230036292
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Innovationsforum, Leipzig, 8.-11. März 1994