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Berührungsloses Messen mit Mikromembranen

Zur Horst-Meyer, S.; Münch, H.J.; Börner, M.W.; Schomburg, W.K.; Vitt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230036292
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Innovationsforum, Leipzig, 8.-11. März 1994
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