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Elektrisch steuerbarer Schalter für Gasströme

Hein, H.; Vollmer, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230036352
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 (Prospekt)
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