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LIGA-made pneumatically driven micro-actuator for use in a micro testing system

Ruther, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230036480
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Cambridge University, GB, 31.Oktober 1994
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