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Micro-Systems based on LIGA-components

Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230036616
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Louisiana State University, 17.November 1994
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