Micro-Systems based on LIGA-components
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036616 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Louisiana State University, 17.November 1994 |