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Requirements and first results of an assembly and handling apparatus for automated fabrication of microsystems

Gengenbach, U.; Göttert, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230036664
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Seminar on Handling and Assembly of Microparts, Wien, A, November 14, 1994
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