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Requirements and first results of an assembly and handling apparatus for automated fabrication of microsystems

Gengenbach, U.; Göttert, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230036664
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Seminar on Handling and Assembly of Microparts, Wien, A, November 14, 1994
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