Requirements and first results of an assembly and handling apparatus for automated fabrication of microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036664 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Seminar on Handling and Assembly of Microparts, Wien, A, November 14, 1994 |