Deposition and characterization of BCN thin films produced by RF magnetron sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036736 |
| HGF-Programm | 52.01.07 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 19-23, 1994 Book of Abstracts |