| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036769 |
| HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | GME-Fachtagung über Anwendungsfelder der Mikroelektronik, München, 19.-20.Oktober 1994 |