Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230036769 |
HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | GME-Fachtagung über Anwendungsfelder der Mikroelektronik, München, 19.-20.Oktober 1994 |